ИК-Фурье спектрометр CryoSAS Bruker

Анализатор кремния CryoSAS — это специализированная система для низкотемпературного (< 15 K) определения примесей в кремнии на низком уровне, оптимизированная для осуществления анализа в промышленных условиях. CryoSAS сочетает в себе высококачественный ИК-Фурье спектрометр со встроенным криостатом замкнутого цикла, не требующим использования жидкого гелия. Укомплектованный самым современным оборудованием, CryoSAS использует хорошо проверенную методику выполнения сложных анализов в соответствии с требованиями кремниевой промышленности. CryoSAS может использоваться в автоматическом режиме, предоставляющем подробные отчеты о результатах измерений. CryoSAS анализирует мелкие примеси (бор, фосфор и др.) до уровня ppta, согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630. Также возможен одновременный анализ углерода и кислорода до уровня ppba согласно стандарту ASTM/SEMI MF1391.

Основные преимущества:
    высокая чувствительность;
    система охлаждения до криотемператур замкнутого типа, не требующая жидкий гелий (лучше: применения жидкого гелия);
    большой отсек образца из нержавеющей стали для смены образцов;
    система вакуумирования с безмаслянным форвакуумным и турбомолекулярным насосами;
    надежный высокоточный автоподатчик образцов на 9 позиций;
    чувствительность по бору — 30 ppta;
    чувствительность по фосфору — 10 ppta;
    чувствительность по углероду — 20 ppba.

Тип	Промышленный
Метод анализа	ИК среднего диапазона
Корпус спектрометра	Вакуумируемый
Детекторы	DTGS, Si
Лазер	NeHe
Расширение спектрального диапазона	Фиксированный
Стандартное спектральное разрешение	0.5 см-1
Тип образцов	твердые
Максимальный спектральный диапазон	От 1 500 см¯¹ до 280 см¯¹
Максимальное спектральное разрешение	0,5 см¯¹
Скорость сканирования	5 сканов/сек
Встроенный сенсорный экран и специальное программное обеспечение OPUS-TOUCH	Нет
Встроенная газовая кювета	Нет
Приставки	Нет